证券时报记者 阮润生
在电子行业结构分化加剧的背景下，一季度全球半导体行业销售额罕见下滑，半导体设备板块成为为数不多的“镇流器”标的：A股行业上市公司目前拥有充足的资金手头订单、国产半导体设备中标率持续上升，4月份中标率罕见超过60%。另外，从市场表现来看，近期半导体板块出现反弹，上市设备公司领涨。
国产设备话语权增加
先进半导体设备作为国内芯片产业的短板，近期被曝面临美国不断升级的出口限制。据美媒《The Information》报道，美国商务部正在权衡是否加大对中国芯片制造商的打击力度，这可能会进一步限制向中国客户销售先进工艺设备，并可能扩大对中芯国际的制裁范围华虹、长春村、长鑫等国内领先晶圆厂。
业内人士表示，相关措施能否落实还有待观察。毕竟，中国是国际半导体设备制造商的重要市场。据彭博社统计，应用材料、科磊和林氏集团约占其中国市场营收的30%。即使传言成真，目前内资晶圆厂的扩产计划主要以28nm及以上成熟工艺为主，实际影响也有限。
据IC Insights预测，2022年全球半导体行业复合增长率将达到24%，超出此前预期，晶圆设备需求持续强劲。 2021年中国大陆设备进口额211亿美元，同比增长55%。此外，从产业链反馈来看，晶圆厂加快了国产设备的验证和引进，包括离子注入、胶水开发、前端测量等设备均已取得突破，多种设备已实现国产化。进入量产阶段。
招标平台信息显示，5月10日，上海吉塔半导体多台设备招标结果公布。北方华创、拓晶科技、鑫源微等国内设备厂中标上海吉塔半导体特色工艺生产线项目。共有 33 个单位。
据德邦证券统计，2022年4月，中国大陆设备中标数量为67个，国内中标率罕见地高达62%。北方华创、中微科技、亿唐、鑫源微等中标数量排名第一。今年1-4月公开招标的401台设备中，中国大陆厂商生产的设备共有97台，占比24.2%，略低于2021年平均水平；其中，干式除胶设备国产率高达71%，蚀刻设备国产设备占一半以上。综合来看，国内厂商在蚀刻、清洗、干法脱胶、涂布显影等设备方面的话语权不断增强，有的甚至成为主要设备供应商。
作为半导体设备龙头股，北方华创一季度合同负债达51亿元，位居行业上市公司之首。据公司介绍，在逻辑、存储、电源、先进封装等领域，公司的刻蚀机、PVD、CVD、ALD、立式炉、清洗机等新产品已进入主流生产线。此外，在泛半导体领域，公司光伏TOP Con关键工艺设备批量供应市场，Mini/Micro LED工艺设备进入主流生产线，第三代半导体设备已批量销售。
此前青岛华亚钢结构，一位上市半导体材料供应商向证券时报记者透露，内资晶圆厂国内半导体产品认证导入周期已大幅缩短。从之前的1到3年，现在有些产品只需要6个月或更短的时间。
设备领导者的强劲增长
从市场表现来看，今年以来半导体板块一直承压，估值中枢有所下降。近三天半导体整体反弹，设备指标强势反弹。其背后的板块业绩也得到了有力支撑。
东方财富精选数据显示，上市半导体设备企业2021年实现净利润约38亿元，同比增长约80%。同期，半导体板块业绩增速最高；今年一季度，受上海疫情、消费电子疲软等多重因素影响，半导体整体利润增速放缓。但芯源微、华丰测控、博伦电子等公司利润却翻倍增长。龙头股北方华创今年一季度净利润同比达到2.47亿元。增长近2倍，各细分领域龙头企业增长强劲。
在前端涂胶、开发、物理清洗领域，鑫源微不断发力。今年一季度，鑫源微净利润达到3241万元，同比增长近4倍，增速位列设备板块第一。鑫源微高管近日表示，公司目前订单充足，今年新签订单也将保持快速增长。从今年一季度的订单签约情况来看，公司前端领域的产品已开始放量，客户覆盖逻辑、存储、功率器件等特殊工艺等国内多家厂商。
具体进展显示，鑫源微生产的离线涂胶显影机已批量销售，I线涂胶显影机已通过部分客户验证，进入量产销售阶段，KrF涂胶显影机已批量销售。通过客户ATP验收。此外，前端物理清洗设备已获得中芯国际、上海华立、武汉新芯、厦门士兰科技、扬杰科技、青岛信恩、上海吉塔等多家国内Fab厂批量订单；后端涂胶、显影设备和单片湿法设备已成为客户主要量产设备。
对于近期上海疫情的影响，鑫源微高管表示，上海部分原材料物流出现一定程度的延误，但公司通过积极协调沟通，已充分缓解物流延误的影响；同时，公司与第二、第三方合作进行各种原材料的供应。第三供应商均保持良好的合作关系，各种原材料的供应有良好的保证。目前，公司新订单未受疫情影响，继续保持快速增长。
在半导体测试设备领域，华峰测控的产品涵盖模拟、数模混合、分立器件、功率模块等集成电路的测试。公司高管表示青岛华亚钢结构，虽然去年11月和12月公司订单量环比下降，但今年一季度以来持续反弹。虽然上海疫情对物资供应和部分客户的收入确认造成了一定影响，但随着上海疫情逐步缓解，行业景气度将逐步回升。
在业务结构上，华峰测控在模拟混合的基础上增加了SoC和功率两个新方向。 2021年已取得一定成绩，预计2022年会有更好的业绩。此外，公司拓展海外市场取得成效，近三年海外收入保持增长。据介绍，公司海外客户已从中小企业逐步扩大到Tier 1等一些大型IDM公司，未来海外营收占比预计将从10%左右提升至20%甚至20%左右。更高。
另一方面，以出口为主的半导体设备结构件供应商华亚智能也加大了国内市场的开发力度。在近期的业绩交流会上，公司高管表示，随着国产半导体设备企业的成长和发展，公司对国产半导体设备结构件的订单不断增长。未来，公司在继续关注国外市场的同时，也会更加关注国内市场。市场。去年公司开发了一些新的国内半导体设备客户，目前正处于样品试产和认证阶段。
长期看好行业周期
对于半导体产业周期是否已经见顶的担忧一直萦绕在市场上。据公开市场信息不完全统计，预计中国大陆主要晶圆厂每月新增12英寸芯片产能约148.2万片，每月新增8英寸芯片产能约11.5万片。业界指出，近两年扩建的晶圆厂大部分预计将在2023年至2025年左右投产，这意味着半导体供需关系有望在2022年底达到平衡，芯片短缺的局面将得到缓解。 2023年将得到缓解。
据半导体行业协会（SIA）统计，2022年第一季度全球半导体销售额总计1517亿美元，较2021年第一季度增长23%，但较2021年第四季度下降0.5%。此外，中国海关数据显示，今年一季度中国半导体制造设备进口额为505.51亿元人民币，同比减少1.9%，增速罕见下滑。
不过，半导体设备类上市公司高管表示，行业整体景气度仍在向好。受疫情和中美贸易摩擦影响，国产替代步伐仍在加快。对于公司而言，报告中仍会体现季节性变化，第二、三季度好于一、四季度。基于集成电路产业现状和国家政策的可持续性，我们有信心2022年保持稳定增长。
另一方面，随着技术的进步，半导体设备的重要性将日益凸显。
中微电子高管指出，随着国际先进芯片制造工艺从14nm、10nm阶段向7nm、5nm及更先进工艺发展，目前的光刻机受光波长限制，需要将刻蚀与薄膜结合起来。设备，采用多模板工艺，利用刻蚀工艺实现更小的尺寸，进一步提高了刻蚀技术及相关设备的重要性。为了进一步提高市场份额，公司将根据先进逻辑芯片和高密度存储DRAM和3D NAND芯片的不同刻蚀需求，开发不同硬件特性的产品，以满足客户的差异化需求。此外，还将根据客户的研发需求开发产品。定义下一代产品的技术指标和技术路线，开发能够满足客户需求的新产品。
据介绍，中微刻蚀设备国内市场份额持续提升，高端工艺研发进展顺利。新订单金额同比增长90.5%至41.3亿元。其中，在逻辑集成电路制造工艺方面，公司研发的12英寸高端刻蚀设备已被国际知名客户应用于65纳米至5纳米的先进芯片生产线上；同时，公司根据先进集成电路制造商的需求进行开发。 5纳米以下刻蚀设备用于多个关键步骤的加工，已获得行业领先客户的批量订单，并且正在开发设备以覆盖更多5纳米以下刻蚀需求和更多不同的关键应用。
